第二百四十四章 Spi超级光学镜片

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在所有人注目下，投影幕布上清晰显示出一张高清图片。

胡来环顾众人，开始解释起来：

“各位专家，我们都知道，在EUV光刻机里，现在卡住我们的主要是光源、反光镜、纳米定位（精度）和组装工艺。”

“这张图片的技术资料，是EUV光刻机重要的光源制造技术，和现在技术利用‘二氧化碳激光轰击金属锡获得EUV等离子体’不同，我们突破了另一种更为简单获取EUV光源的技术……”

话音刚落，几声轻微的惊咦声在会议室响起。

胡来仔细的讲解着图片上的技术内容，紧接着一张又一张的图片出现在幕布上。

“这一张图片上的内容，同样是光刻机最核心的部件——纳米定位器，这是我们纳米定位对准显微系统的3D结构图，这个定位系统可以精确到亚纳米级……”

“……”

“最后这几张图片是我们的技术组装文档，因为每个部件实在太多，我简单介绍个大纲然后详解一个部件……”

胡来做了一晚上的功课显然颇有成效，随着一张张技术资料的截图出现在投影幕布上，会议室彻底安静的只剩胡来一个人的声音。

而当他最后拿出光刻机组装文档后，在场所有专家再也忍不住，纷纷开始低声讨论起来。

何首长此时心里也有些紧张，他对技术并不了解，所以会议开始后他主要观察着会议室内的情况。

令他没有想到的是，从投影幕布上出现第一张图片开始，专家组所有成员马上就被幕布上的内容吸引，他们双眼死死盯着投影幕布，那神情、那样子分明就是突然进入了一个全新的知识领域。

分明就是胡来介绍的技术资料深深吸引了他们！

也就是说，凤凰集团确实有光刻机技术底蕴的！

想到这里，何首长也难得紧张，他看着已经达成一致意见的专家组，说道：

“李教授，你们的意见是？”

说完这句，不仅是何首长，一旁的陈海也屏住呼吸，虽然这两天的接触后他非常信任胡来，但这毕竟关乎国家大事，关乎本次弹判策略……

李教授听到被点名，推了推眼镜，又看了一眼胡来，这才说道：

“何首长，这么短的时间内我们没有100%把握，而且刚才胡总介绍的许多突破性的技术……说实话，我们并没有见过。”

“不过，除了我们不了解的新科技，胡总讲的其他内容都是正确的，特别是最后的组装技术资料，我们一致认为内容远超我们国内水平。”

李教授怕何首长没听明白，详细解释了一下。

“是这样的，首长。”

“具体来说，光刻机组装技术是生产光刻机非常重要的技术，重要性甚至比单项技术光源制造、纳米定位还要高，例如ASML公司，他们生产的EUV光刻机实际上95%的零部件都是全球采购的。”

“按理来说，但凡任何公司能采购到相应的零部件就能生产出同样的EUV光刻机，但实际上并不是这样！”

“我们了解过ASML公司的光刻机组装流程，他们的精密度的要求堪称工业制造之最，比如拧一颗螺丝钉，他们都已经不是用毫米计算精度，而是精确到几忽米，1忽米可是只有0.01毫米，其精密度可想而知！”

“而刚才胡总介绍的组装技术里，不仅各个部件的精密度数据非常详细，而且，采取的组装方式也是模块性组装，这也是需要极其需要技术的……”

说到这里，李教授整理了一下情绪，看着何首长重重点头：

“何首长，总的来说，就胡总提供的这些技术资料图片，我们并没有看出造假的痕迹。”

听到这话何首长彻底松了一口气，脸上瞬间布满笑容。

李教授虽然没有给出100%准确的回复，但他自己心里已经有肯定的答案了。

虽然这次技术会议只有四十多分钟，但能在四十多分钟里讲满干货还没有让在座的芯片专家组发现明显问题，这就已经足够说明问题了。

最重要的是，眼前的胡来执掌的凤凰集团，可是炎国芯片行业最顶尖的公司，可是研发了NB-Y架构，能生产虎跃140这种跨时代芯片的企业，确实有能力，有可能生产5纳米光刻机。

兴奋、欣喜之中，何首长感谢了一番在场的几位专家，随即和胡来、陈海一行三人来到了一间秘密小屋。

屋子从宽敞的会议室变成一个十来平方的小办公室，何首长坐在沙发上，笑容笑容晴朗的看着胡来。

“胡总……这样，我叫你小胡吧。”

见胡来点头，何首长继续说道：

“小胡，我之前听到陈海汇报，说是你们最近才突破了5纳米光刻机的技术，我想了解下你们现在具体是什么情况？”

胡来此时也放松下来，昨天连夜整理清单，等的就是这个时候。

他飞快从随身口袋里拿出刚才张厂长给的国外零配件清单，递给何舟首长。

“何首长，不瞒您说，我们准备开始尝试组装一台5纳米光刻机。”

“我们整理好了所需的所有零部件，这是第一批国内无法生产，必须国外进口的零部件。”

“而这其中，最为困难的就是德国蔡司的Spi超级光学镜片，Spi超级光学镜片是专门于EUV光刻机上，全球只有D国蔡司可以生产，我们国内短时间内不太可能有替代品。”

“而且，根据我们的了解，想从D国蔡司购买Spi超级光学镜片有些困难。”

“D国蔡司？！”

何首长接过清单，顿时眉头微微皱起。

一旁的陈海作为安全局领导，对这些光刻机关键企业相对比较熟悉，给何舟解释起来。

“首长，主要还是M方面的压力。”